HMDS真空镀膜技术在蓝宝石表面处理的实验研究
蓝宝石的光学、机械和化学性质使其成为红外光学、高*仪表和3C数码产品的理想材料。但是，蓝宝石的表面特性在光刻等微电子加工过程中可能成为限制因素。HMDS真空镀膜技术通过改变蓝宝石表面的亲水性，为解决这一问题提供了有效手段。
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