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微波消解法---氮化硅中铁元素含量

一般测定微量金属元素含量的方法有原子吸收法、电感耦合等离子体发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法等。电感耦合等离子体发射光谱法因具有检测限低、精密度好、准确度高且可同时测定多个元素等优点,而得到分析工作者的青睐。

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在扫描电子显微镜(SEM)中,通常都会使用能量色散X射线光谱仪(EDS),在本应用分享中,我们展示了一个元素分析的新方法。

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